二手 OXFORD Plasmalab 100 #293766784 待售

OXFORD Plasmalab 100是一種先進的蝕刻器和asher設備,其設計目的是在精確度和可重復性至關重要的研究和工業應用中提供卓越的性能。它將集成的低維等離子體源與快速氣流控制相結合，能夠對大量材料進行精確蝕刻和灰化。全可編程自動化系統在工藝質量和周期時間方面具有顯著優勢。Plasmalab 100具有雙射頻等離子體源，允許靈活加工各種材料。蝕刻氣體對射頻波的出色吸收消除了對單獨的高真空單元的需要，從而實現了無與倫比的蝕刻和灰化速率、低殘留物的形成和最佳的剖面傳遞。綜合湍流等離子體源為隔離不同層提供了良好的表面質量和改進的選擇性。這兩個電源均由可靠且經現場驗證的交流/直流轉換器供電,該轉換器的控制精度不到0.1%。OXFORD Plasmalab 100由一個外殼、一個處理室、一個遙控單元和一個可選的樣品存儲攪拌機組成。該腔室由一個纖薄的不銹鋼結構和一個耐溫的石英玻璃窗制成，用於均勻的等離子體分布。兩個源都被整合到腔室中，並且完全被密封，從而提供高穩定性和低粒子排放。腔室還配備了強大的排氣機，泵送速率高，背景壓力低。在功能方面,Plasmalab 100提供了卓越的靈活性和控制力。它具有無與倫比的能源和效率控制,具有廣泛的電源設置和工藝參數。這使得可重復和準確的過程具有優化的結果。用戶友好的軟件和直觀的圖形界面具有廣泛的參數範圍，使用戶能夠為不同的材料創建和存儲多個蝕刻和灰化配方。OXFORD Plasmalab 100先進的工藝控制工具和詳細的記錄保存提供了無與倫比的可追蹤性。Plasmalab 100是一項創新的蝕刻和灰化資產,性能無與倫比。它提供了無與倫比的控制、可重復性和準確性,同時為用戶提供了廣泛的功能。這使得它成為需要精確和優化結果的研究實驗室和工業應用的理想模型。