二手 OXFORD Plasmalab 100 #293798318 待售

OXFORD Plasmalab 100是為任何剛性材料的不可逆精密蝕刻和微觀表面結構設計的蝕刻器/asher。該機器能夠蝕刻和粉刷有機和無機材料，包括金屬、合金、電介質、玻璃和陶瓷材料。Plasmalab 100的占地面積很小，但可以容納直徑不超過10.25英寸的大型晶片和基材。其靈活的設計允許了廣泛的工藝參數，這意味著精密的微結構可以在極低、中等和高溫和受控大氣下進行。OXFORD Plasmalab 100配備精密質量流控制器（MFC），提供精確且可重復的氣流，以及渦輪分子泵送系統，以精確控制系統中的壓力。該機集成了一個鎖載室，可方便快捷地裝載和卸載基板。Plasmalab 100的集成等離子體源能夠利用「浮動電極」技術生產射頻和直流等離子體。這一技術使OXFORD Plasmalab 100能夠產生極低的受控密度的等離子體，為微結構過程提供高精度和精確度。Plasmalab 100還可以提供深度蝕刻能力，使各種深度和形狀的特征和結構能夠可靠地產生並具有可重復的結果。機器也可用於表面修改，通過摻雜或沈積，以進一步提高材料的所需性能。為了確保每次運行都能取得最佳效果，OXFORD Plasmalab 100具有板載過程監控功能。通過使用先進的過程控制系統，可以對機器的操作進行實時監控和調整。這有助於保證高質量、可重復的過程和可靠的結果。為了完善Plasmalab 100的功能,該機器與各種前期和後期處理硬件完全兼容。光刻、X射線衍射（XRD）、二次離子質譜（SIMS）、表面力顯微鏡（SFM）、光學成像等技術都可用於監測和分析合成圖樣。總之，OXFORD Plasmalab 100是一款高精度的蝕刻器/asher，設計靈活，功能廣泛。其集成的等離子體源和監測系統使其能夠在低溫下產生具有重復性的最高質量結果。此外，由於它與各種外部硬件的兼容性，可以同時監視和分析產生的模式。