二手 OXFORD Plasmalab 100 #9097045 待售

OXFORD Plasmalab 100是一種蝕刻器/asher，設計用於在等離子體處理中提供增強和可重復的結果。此設備提供了一個通用的平臺,使用戶能夠快速輕松地在蝕刻和灰化應用程序之間進行切換,同時同時適應串聯和批處理配置。這種多用途的蝕刻器/asher設備采用OXFORD先進射頻（RF）等離子體源技術，利用主射頻發電機，可變功率輸出高達100瓦，加上先進的腔室進行沈積、蝕刻和灰化控制。Plasmalab 100具有超快速配方系統,可快速優化工藝結果。該機加工鋼室具有數字PID控制的均勻加熱和冷卻、惰性清洗以及多種工藝配方。該裝置能夠同時進行大氣和低壓蝕刻和灰化，確保室內始終保持最兼容和最佳的工藝條件。OXFORD Plasmalab 100上內置的安全防護系統全面全面，防止使用者意外損壞腔室或其他部件。該機包括過溫保護、過流保護和安全聯鎖系統，以確保安全運行。集成的煙霧提取工具可以安全地清除任何汽化介質,使其不會進入工作區。Plasmalab 100還具有集成控制資產,使用戶能夠自動執行最常用的命令,如配方選擇、泵控制和控制器選擇。這種控制模式使用戶只需單擊鼠標即可快速輕松地對各種參數進行編程。此外，該設備還包括一個完整的圖形用戶界面，可對許多系統參數進行實時監控。OXFORD Plasmalab 100是一款經濟實惠、用途廣泛的蝕刻器/asher，旨在在等離子體處理應用中提供增強的可重復性。通過利用先進的射頻源技術,此單元提供了一系列優於傳統蝕刻方法的優勢,例如更好的工藝一致性和更高的可重復性。此外,集成的安全保護提供了安全的工作環境,而內置的控制機器使操作員能夠快速自動化流程。