二手 OXFORD Plasmalab 100 #9258339 待售

OXFORD Plasmalab 100是一款高精度的等離子體蝕刻器/asher，經過科學設計，達到最佳工藝性能。它能夠對最具挑戰性的基材和材料（如有機電介質、金屬、氮化物和其他難以蝕刻的材料）進行快速、精確的蝕刻和粉刷。該工具利用精確的基板加熱和高效的模塊化主動可視沈積控制來制造元件。Plasmalab 100具有自動化的容器裝載、端點檢測和氣體管理功能。自動裝船可確保艙室內的基板放置在安全的環境中。端點檢測能夠監控氣流、時間、壓力和射頻功率。氣體管理系統控制成功蝕刻/灰化過程所需的工藝參數。該系統還有助於減少基板處理錯誤造成的停機時間。該系統與一個大腔室集成在一起，在整個晶圓上提供均勻蝕刻。這個大腔室容納了等離子體源、電極和過程的特定蒸氣來執行蝕刻過程。OXFORD Plasmalab 100與兩種不同類型的等離子體源集成在一起，分別是RF Source和Magnetron等離子體源。射頻源主要用於幹蝕刻過程，而更先進的磁控管等離子體源是濕法蝕刻過程的理想來源。Plasmalab 100與高精度高級溫度控制（ATC）系統集成在一起,使工具能夠精確地將晶片加熱到所需溫度。這樣可以確保高度精確的蝕刻過程,並且對晶圓表面質量的影響最小。它還可以為晶圓提供最大功率400W。OXFORD Plasmalab 100的高功率也使得蝕刻工藝更快。Plasmalab 100與先進的端點檢測技術集成在一起，可提供準確的蝕刻過程實時視圖。這項技術非常精確,但擁有成本卻很低。OXFORD Plasmalab 100附帶的軟件包提供了廣泛的流程支持功能。總體而言，Plasmalab 100為大多數先進材料提供了一種經濟高效且高精度的蝕刻和灰化工具。該工藝的精確度和精確度可以與其他總成本低得多的高級蝕刻器/asher系統進行廣泛比較。