二手 OXFORD Plasmalab 100 #9364612 待售

OXFORD Plasmalab 100
ID: 9364612
晶圓大小: 2"-6"
PECVD System, 2"-6".
OXFORD Plasmalab 100是專門為精密等離子體加工而設計的先進蝕刻器和asher。它提供了廣泛的功能,使用戶能夠獲得更精確的處理結果。蝕刻器由金屬和塑料組合而成,包括一個能達到4500 °C溫度的高功率樣品支架。其嵌入式軟件易於使用,為用戶提供了對過程的溫度、壓力、功率和總蝕刻時間的完全控制。Asher的蝕刻面積為150 mm,高壓工作範圍為0-450 mtorr。它有一個冷卻的Pyrex®腔室,用O形圈密封密封,而不是疏散。這提供了更高的處理精度和最大化的蝕刻速率。此外,蝕刻器包含一個帶有法拉第籠子的高阻力屏蔽層,以抑制幹擾和弧線,同時提供遠距離保護。它還具有內置的空氣過濾系統和低溫抗氧化塗層,有助於減少加工汙染物和顆粒堆積。Plasmalab 100提供快速的熱加速,以顯著減少循環時間。它具有高精度的z高度調整和顏色編碼的進入/退出系統,允許用戶快速選擇正確的處理步驟。它還具有直觀的數字控制系統和觸摸面板,使用戶能夠準確跟蹤蝕刻過程的每個步驟。OXFORD Plasmalab 100蝕刻器設計為最佳的安全性和強度與一個簡單的腔室清理過程。其等離子體發生器經過嚴格測試,以最小的維護確保準確的結果,其先進的設計提供了市場上最高精度的等離子體處理。
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