二手 PLASMATHERM 790 #293636673 待售
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ID: 293636673
晶圓大小: 6"
優質的: 1993
Reactive Ion Etcher (RIE), 6", parts system
PFEIFFER / BALZERS TPH240 Turbo vacuum pump with TCP 380
MKS 153 Control valve
AM-5 Auto matching network
(4) Mass Flow Controllers (MFC)
(2) Floppy disks
AMN-PS2A RF Controller
RFPP RF-5S RF Power supply (500W, 13.56 MHz)
Power supply: 500 W, 13.56 MHz, 208 VAC, 60 Hz
1993 vintage.
PLASMATHERM 790是一款高性能蝕刻器或asher，專為清潔、高效、經濟劃算的印刷電路板生產而設計。由於其先進的技術特點,該設備具有極高的精確度和可靠性。它是一個高度可靠、堅固和易於維護的等離子體灰燼系統，非常適合精細的特征過程控制，具有可重復的結果。該單元由絕緣不銹鋼反應室、高頻源、氣流機和自動化多刀具等離子體源組成。對反應室進行加熱，確保對加熱反應氣體進行適當的熱管理。該室配有先進的真空工具，能夠實時監測工藝壓力和溫度。高頻源產生高達40,000瓦的功率，用於蝕刻物體表面和材料。這種動力也被用來加熱反應室，創造真空環境。一些等離子體調諧多工具源可用於資產提供一系列的等離子體參數，以提高蝕刻均勻性。專用的氣體噴嘴模型能夠精確調整蝕刻工藝參數，如功率、流量、速度和壓力。噴嘴能夠在整個表面積上形成均勻、高質量的蝕刻。反作用室的設計使控制噴嘴的位置和調整工藝參數成為可能，使設備可以用於各種蝕刻應用，如印刷電路板。790具有多種安全特性，包括自動關閉系統，防止在溫度和壓力過大的情況下進一步使用該單元。它還具有「緊急停止」按鈕,該按鈕可以停止機器並防止任何進一步的工作,以保護操作員的安全。該工具還具有廣泛的軟件和控制選項，如智能用戶界面，使用戶能夠配置自己的蝕刻過程。該資產與一系列計算機輔助設計（CAD）軟件包兼容,從而可以高效集成到現有生產線中。總之，PLASMATHERM 790是一種先進、可靠、緊湊的蝕刻模型，具有很高的可重復性和靈活性。它是印刷電路板經濟高效、高精度生產的理想選擇。
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