二手 PLASMATHERM 790 #293729354 待售
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ID: 293729354
晶圓大小: 2"-6"
優質的: 1993
Reactive Ion Etcher (RIE), 2"-6"
Single chamber
Material used: Gas and Silicon
MFC: N2/SiH4/HE, HE, NH3
Pump
HX75 Chiller
RF
No loadlock
Throttle valve
Ion gauge controller: Manometer
Gas panel
Fluid input panel
Temperature control system
Operating system
1993 vintage.
PLASMATHERM 790是一種蝕刻器/asher，設計用於材料的精確和可重復處理。它配備了自動化的過程控制平臺，提供易於使用、精確和可重復的過程。該系統設計用於處理各種類型的樣品，如聚合物、金屬或金屬-聚合物復合材料。它能夠達到高達800°C的極高溫度，提供精確、可重復的蝕刻和灰化解決方案。該工具包括一個功能強大的低維護真空泵。泵可確保腔室中的恒定和精確壓力,從而確保精確的過程,並且無需頻繁維護。這個平臺的創新是隨著時間的推移為用戶提供精確的結果，減少了頻繁節流或調整壓力的需要。790的車身設計堅固可靠，為連續例行運行而設計。它配備了可靠的安全系統，防止對使用者和設備造成任何傷害或損壞。它可以交替使用幾個甚至不止一個高頻電源,對整個蝕刻和灰化過程進行精確的電源控制。它還通過其自動化的過程控制平臺提供了廣泛的控制,從而方便地訪問高級功能。通過此平臺,用戶可以在手動或自動蝕刻和灰化過程之間進行選擇。可以通過PC軟件對不同的工藝配置文件進行編程,該軟件還控制蝕刻和灰化過程的各個方面。而且，用戶可以管理室內的溫度和壓力，氣體的流動以及向材料輸送的確切能量量。總體而言,PLASMATHERM 790為用戶提供了精確、可重復性和可靠的操作。它是先進材料加工的理想工具，適合研究和工業使用。它還提供了一個自動化的過程控制平臺,使用戶能夠以最小的努力輕松地對過程進行編程,並可以完全控制蝕刻和灰化過程。
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