二手 PLASMATHERM 790 #293764460 待售
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PLASMATHERM 790是一款asher/etcher,為各種應用提供先進的等離子體蝕刻功能。它旨在提高生產效率和性能,並為最具挑戰性的蝕刻需求提供最佳、經濟高效的解決方案。該系統具有高達200 kW的蝕刻功率,總占地面積僅為11平方米。其模塊化配置允許高靈活性和量身定制的生產過程。790包括兩個集成源,即室溫等離子體(RTP)或遠程等離子體源(RPS)。對於直徑可達300毫米的晶片/堆棧,其負載鎖腔室可提供高達50%的吞吐量。它提供了精確的自動標線,並允許對每個氣體進行獨立的控制,使得復雜的蝕刻過程更容易執行。PLASMATHERM 790適用於許多敏感材料,包括光學塗層、復合材料、聚合物和金屬箔。通過綜合真空和氣體安全協議,它能夠以安全的方式處理潛在危險化學品。它有一個高容量的數字控制系統,提供更快的過程開發和直接配方與現代軟件。此外,它還包括PWM電源切換、排氣壓力調節和自動預防性維護等多種保護功能。790是一種可靠且經濟實惠的蝕刻/蝕刻工藝解決方案。它非常適合印刷電路板制造、離散元件制造、集成電路制造、半導體封裝、光伏電池制造等多種應用。它兼具性能和靈活性,使其成為一個功能強大的設備,可幫助在任何生產環境中最大限度地提高生產效率。
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