二手 PLASMATHERM 790 #293775968 待售

PLASMATHERM 790是為先進的半導體和微電子器件制造工藝而設計的尖端等離子體蝕刻器/asher設備。這種高度通用的系統由全球半導體行業等離子加工設備的領先供應商Plasma-Therm制造。790采用了創新的等離子體蝕刻和灰化技術，以高精度和高效率的方式精確設計和清潔半導體材料。憑借其堅固的設計和最先進的特點，該單元非常適合廣泛的應用，包括光刻去除、介電蝕刻、金屬蝕刻等等。PLASMATHERM 790的關鍵亮點之一是其先進的真空室設計，為等離子體處理提供了受控環境。該機具有高品質的不銹鋼腔室，具有出色的真空密封能力，以維持所需的工藝條件，並增強整個基板表面的均勻性。790包含多個氣體進氣口,可精確控制加工氣體和流速。這使用戶能夠根據自己的具體要求量身定制等離子體化學，促進針對不同材料和設備結構的優化蝕刻和灰化過程。此外，該工具還配備了先進的射頻電源和阻抗匹配網絡，可精確控制等離子體的產生和分配。這確保了過程氣體的有效電離和等離子體在基板上的均勻分布，從而產生一致和可重復的過程結果。PLASMATHERM 790具有支持單頻和雙頻等離子體生成的多功能電極配置。這種靈活性允許用戶根據自己的工藝要求選擇合適的等離子體源配置，無論是高密度的等離子體蝕刻還是低損傷的灰化。此外，該資產還配備了先進的等離子體源設計，確保在整個蝕刻或灰化過程中等離子體運行穩定且連續。這一特性對於實現半導體制造的高工藝重復性和產量至關重要。790還配備了前沿工藝監控能力，實現了工藝實時優化。該模型包括先進的端點檢測技術，可準確確定工藝完成情況，確保精確去除光刻膠或其他材料，同時避免過度蝕刻。此外,PLASMATHERM 790還提供了用戶友好的界面和直觀的軟件控制,使操作員能夠輕松設置流程並監控設備性能。該系統還支持遠程監控和診斷,從而實現了高效的維護和故障排除,從而最大限度地減少了停機時間並最大限度地提高了工作效率。總體而言,790是一個高度先進的等離子體蝕刻器/asher單元,它為半導體和微電子制造過程提供卓越的性能、多功能性和可靠性。憑借其最先進的特性和能力，這臺機器是半導體行業領先的研究和生產設施的寶貴工具。