二手 PLASMATHERM 790 #293823821 待售

PLASMATHERM 790是一種蝕刻室，旨在提供與超高蝕刻速率工藝相結合的精確熱控制。它是一個完整的蝕刻設備，能夠在高蝕刻速率下執行等離子體蝕刻和灰化過程，並提供精確的熱控制。790的核心元件是一個最先進的工藝室，結構堅固，高度可靠，需要最少的維護。該腔室設計為安全地包含蝕刻和灰化工藝，並為這些工藝提供最佳的工藝環境。該室的最先進的設計確保了可重復的工藝性能，實現了卓越的蝕刻速率性能和均勻性。PLASMATHERM 790通過使用集成的射頻發生器和隔離器運行。這使得系統可以在高達1.2千瓦的功率水平上運行，最大頻率為13.56 MHz。這些功耗級別為高級蝕刻和灰化過程提供了足夠的功耗和性能。此外，該機組還具有通過集成氣體控制控制工藝氣體流量和壓力速率的能力。這允許精確控制蝕刻和灰化工藝參數，並提供更大的工藝重復性和控制性。790采用優質材料和硬件,最大程度地提高可靠性和產品質量。這樣可以確保機器符合嚴格的標準並提供卓越的性能。此外,該工具還包括集成的冷卻冷卻設備,可確保所有組件在整個過程中保持冷卻狀態。PLASMATHERM 790是高性能蝕刻和灰化工藝的理想選擇。它專為需要卓越的熱控制和超高蝕刻速率的工藝而設計,可提供精確的控制和可靠的結果。此外，它具有很高的可靠性，減少了設備維護的需要，使其成為具有成本效益的選擇。