二手 PLASMATHERM 790 #9113757 待售

PLASMATHERM 790 蝕刻器/asher是一種用於在晶圓上制造微電子元件的雙自動等離子體蝕刻和灰化工藝。它提供了執行蝕刻回應用程序和灰度應用程序的靈活性和可靠性。先進的蝕刻回技術利用高壓等離子體源，通過在整個晶片表面上提供均勻的等離子體體積，在晶片上提供高工程均勻性。該機還提供了一個全面的蝕刻參數範圍，具有廣泛的不同氣體組合和壓力狀態的最佳蝕刻結果。背面蝕刻工藝是為RIE等應用量身定制的，其中不同材料之間的選擇性很重要。自動源控制進一步確保了良好的均勻性。同時還提供了與背面蝕刻工藝相同的高效率和均勻性。專有的等離子體灰化（PA），利用現代低壓等離子體技術，提供侵略性有機和無機材料的異質熱等離子體汽化。熱等離子體灰化工藝提供了從厚電介質到貴金屬等多種材料的清潔蝕刻。該系統配備了多氣體流量控制器，提供了方便使用反應性氣體混合物的機會。與負載鎖室、機器人和基板的全面聯鎖，確保操作安全，過程控制軟件直觀易用，可用於初始化和過程開發。一個先進的端點檢測系統被納入過程中，它測量特定的樣品反射和/或基板電壓。這些光學參數使整個過程中的完整過程監控成為可能。該系統提供多種配置,所有配置均與正面/背面晶圓處理機器人兼容。綜上所述,790 蝕刻器/asher提供了出色的均勻性、過程靈活性和可重復性,以及自動端點識別,從而提高了微電子元件制造的成本效率。