二手 PLASMATHERM 790 #9156794 待售

PLASMATHERM 790是一款等離子體蝕刻器/asher，為廣泛的應用提供出色的蝕刻和灰化性能。790具有多氣體陣列設計和等離子體負載鎖定，使其成為蝕刻和灰化的理想平臺。PLASMATHERM 790的多氣體陣列設計允許用戶配置多個氣體流入蝕刻室。等離子體負載鎖還允許將各種氣體引入蝕刻室，而無需卸載和重新裝載基板。790附有精密蝕刻的自動化控制設備。紅外溫度控制系統有助於在整個蝕刻過程中保持溫度穩定，而精密的低VOC氣體輸送和集成的等離子體控制單元則允許像偏置電壓、射頻（RF）功率、腔室壓力等蝕刻參數的精確控制。自動控制機有助於最小化蝕刻均勻性，提高蝕刻深度均勻性。PLASMATHERM 790設計可容納小型和大型基板,並具有高速蝕刻/灰化吞吐量。較大的腔室尺寸和強大的射頻發生器允許對較厚的晶片或基板進行有效的蝕刻/灰化，使得這種蝕刻器/灰化器非常適合用於生產或研究目的。790與一系列前體材料兼容，如氧氣、氙氣、氦氣和氫氣，為用戶提供了對蝕刻過程的靈活性和控制力。PLASMATHERM 790具有絕緣良好的腔室結構，內部是石英等離子體區域，提供了極好的均勻性和可重復性。等離子體室的封閉式、氣密式設計允許最小的粒子、熱量和噪聲產生，使得這種蝕刻器/asher非常適合在潔凈室環境中使用。790的高穩定性也使其與high-N2蝕刻工藝高度兼容。總體而言,PLASMATHERM 790是一款非常適合各種蝕刻和灰化需求的蝕刻器/灰化器。790的智能設計和自動化控制工具有助於簡化蝕刻/灰化過程,為用戶提供更高的準確性和改進的過程一致性。此外,封閉式腔室和絕緣設計有助於減少熱量、振動和噪音,同時提供卓越的溫度穩定性,從而獲得更好的蝕刻/灰化效果。