二手 PLASMATHERM 790 #9156796 待售

PLASMATHERM 790是一款用途廣泛的蝕刻器/asher,專為各種精密蝕刻和灰化應用而設計。790配備了24英寸長的工業級石英腔室,可提供可靠的主動布線和高達400瓦的功率,以實現快速蝕刻/灰化和高質量的效果。除了高度先進的控制系統和先進的診斷之外，PLASMATHERM 790還配備了多項安全功能，包括可調節的氣壓設置、動態溫度傳感器以及主動熱穩定性監控。790配備了內置的等離子體發生器，以實現高速蝕刻/ashing。此外，PLASMATHERM 790配備了氮氣凈化設備，以確保在蝕刻/灰化過程中存在均勻數量的氧氣、氮氣和其他氣體。該系統具有氣體平衡和過渡模式，以確保整個過程中均勻的壓力，以及步驟之間的快速晶圓洗牌。790還具有先進的溫度控制技術,包括內置主動保護單元（APS）,以確保蝕刻/灰化過程中的最佳溫度條件。APS自動調整腔室溫度，並相應調整功率水平，在整個過程中保持精確的溫度條件。PLASMATHERM 790的蝕刻速率精確一致，非常適合需要精確結果的廣泛應用。它提供了從幾微米到幾百微米每分鐘的一系列蝕刻深度。此外,790的高級診斷機器允許用戶快速識別蝕刻/灰化過程中的任何問題並進行故障排除。總而言之,PLASMATHERM 790是一款可靠、高性能的蝕刻器/灰化器,旨在實現各種材料的精確、可重復的蝕刻/灰化。它提供高達400瓦的功率,並配備了先進的控制技術和實時診斷,以確保準確的結果。790還具有可調節的氣體壓力設置和溫度傳感器,以及主動保護系統,以確保腔室中可靠且均勻的氣流。