二手 PLASMATHERM 790 #9260193 待售
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ID: 9260193
優質的: 1993
PECVD System
Operating system: Windows 3.1
RF Plasma
ADVANCED ENERGY RF 5S Power supply
Power output: 500 W at 13.56 MHz
Max pressure: 900 mT
Deposited materials:
Amorphous
Nanocrystalline Si deposition
Si3N4
SiO2 films
Gases:
CF4 / O2
CH4 / 10 sccm
He / 500 sccm
N2O / 100 sccm
B2H6 / 10 sccm
PH3 / 10 sccm
NH3 / 500 sccm
SiH4 / 50 sccm
H2 / 10000 sccm
N2 Needle valve
1993 vintage.
PLASMATHERM 790是一種Etcher/Asher,特別是一種利用等離子體在包括金屬、半導體和聚合物在內的多種材料上進行蝕刻、清潔和活化的技術。該裝置具有多種蝕刻和灰化選項,包括反應性離子蝕刻(RIE)、化學氣相沈積(CVD)工藝和幹釋設備。該系統配備了兩種高功率射頻能量來源,與其他蝕刻系統相比,可實現更高的吞吐率和應用靈活性。PLASMATHERM包括RF曲面打擊以及多個配置選項,包括自動居中和自動掃描。該單元包括一個6.4英寸的IDLF(Chamber Desiccator Lid),一個滿載的烘烤站,以及用於強大蝕刻和灰化要求的直接到伏電源。6.4英寸IDLF可處理高達2.7 nm/秒,最大導軌速度為30 nm/分鐘。PLASMATHERM還配有一個集成的溫度監控單元。溫度控制和監控單元基於兩個讀數,兩個電源各一個。這允許使用者調節等離子體室的溫度,以優化處理結果。790在高容量過程中使用先進的ECOALD電動級進行精確運動控制。這種運動控制機器使用內部控制器來監控舞臺運動,從而實現更具攻擊性的機械式穩定性。該階段的碳纖維和鋼結構保證了大批量加工過程中的穩定性。該工具還包括溫度監測和控制高達1000 °C。PLASMATHERM 790有內置控制單元監控資產和內置診斷單元。此功能允許用戶測試其流程,並根據需要進行調整或故障排除。PLASMATHERM還具有多種安全功能,以保護用戶在操作過程中免受傷害。該模型設計用於在氣體或電壓波動時自動切斷電源,以及防爆措施,以保護人員免受意外壓力增加的影響。設備還包括內置石英窗清潔器,保護瓷器。790是一款先進的自動化Etcher/Asher,專為大容量操作而設計。它配備了多種特性,包括先進的運動控制、溫度控制和爆炸防護。該單元能夠以高精度和精確度蝕刻各種材料,允許用戶針對特定作業優化流程。內置的安全功能進一步確保了用戶在操作過程中的安全。
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