二手 PLASMATHERM 790 #9260193 待售

PLASMATHERM 790是一種Etcher/Asher，特別是一種利用等離子體在包括金屬、半導體和聚合物在內的多種材料上進行蝕刻、清潔和活化的技術。該裝置具有多種蝕刻和灰化選項，包括反應性離子蝕刻（RIE）、化學氣相沈積（CVD）工藝和幹釋設備。該系統配備了兩種高功率射頻能量來源，與其他蝕刻系統相比，可實現更高的吞吐率和應用靈活性。PLASMATHERM包括RF曲面打擊以及多個配置選項,包括自動居中和自動掃描。該單元包括一個6.4英寸的IDLF（Chamber Desiccator Lid），一個滿載的烘烤站，以及用於強大蝕刻和灰化要求的直接到伏電源。6.4英寸IDLF可處理高達2.7 nm/秒,最大導軌速度為30 nm/分鐘。PLASMATHERM還配有一個集成的溫度監控單元。溫度控制和監控單元基於兩個讀數,兩個電源各一個。這允許使用者調節等離子體室的溫度，以優化處理結果。790在高容量過程中使用先進的ECOALD電動級進行精確運動控制。這種運動控制機器使用內部控制器來監控舞臺運動，從而實現更具攻擊性的機械式穩定性。該階段的碳纖維和鋼結構保證了大批量加工過程中的穩定性。該工具還包括溫度監測和控制高達1000 °C。PLASMATHERM 790有內置控制單元監控資產和內置診斷單元。此功能允許用戶測試其流程,並根據需要進行調整或故障排除。PLASMATHERM還具有多種安全功能，以保護用戶在操作過程中免受傷害。該模型設計用於在氣體或電壓波動時自動切斷電源,以及防爆措施,以保護人員免受意外壓力增加的影響。設備還包括內置石英窗清潔器，保護瓷器。790是一款先進的自動化Etcher/Asher,專為大容量操作而設計。它配備了多種特性，包括先進的運動控制、溫度控制和爆炸防護。該單元能夠以高精度和精確度蝕刻各種材料，允許用戶針對特定作業優化流程。內置的安全功能進一步確保了用戶在操作過程中的安全。