二手 PLASMATHERM 790 #9296260 待售
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PLASMATHERM 790是一款先進的蝕刻器/asher設備,設計用於對包括矽、金屬、聚合物和石英在內的一系列電子材料進行高速、可靠和可重復的處理。它提供高度均勻的半導體晶片等離子體蝕刻和灰化,也可用於從晶片中去除有機材料。790的工作原理是使用感應耦合雙頻射頻電源在其處理室內產生高度均勻和穩定的等離子體。此過程允許創建狹窄的進程窗口,並允許精確控制蝕刻參數。腔室用石英檢修口密封,系統能夠處理各種晶圓設計,包括標準尺寸和定制尺寸晶圓。PLASMATHERM 790包含許多高級功能,以確保獲得最高質量的結果。其中包括可編程的過程控制,以確保一致的蝕刻和灰度時間和溫度,實時顯示過程參數,以及在過程開發過程中實現可重復性和可追蹤性的數據記錄功能。該單元還可以與主機計算機集成,用於遠程監控。該機器能夠在各種材料和厚度上產生可復制、均勻的蝕刻輪廓,蝕刻速度變化最小。它非常可靠,與傳統蝕刻系統相比,電流消耗水平低,功耗降低。總體而言,790是一種先進且用途廣泛的蝕刻器/asher工具,非常適合尋求可靠、高效且經濟高效的工藝控制的公司,用於其蝕刻和灰化應用程序。
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