二手 PLASMATHERM 790 #9296262 待售
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ID: 9296262
晶圓大小: 8"
優質的: 1998
PECVD System, 8"
RIE
Dual chamber
Manual load
Non-load lock
RFPP RF5S RF Power supply with matching network
RF 350W Power supply
LEYBOLD Turbo pump
Gas distribution panel: (4) MFCs
Operating system: Windows
1998 vintage.
PLASMATHERM 790是一種先進的、高度精確的蝕刻和灰化設備。它是PLASMATHERM創建的最新型號,PLASMATHERM是蝕刻和灰化系統生產的領導者。790是為各種應用而設計的系統,包括蝕刻、灰化和深反應性離子蝕刻(DRIE)。該裝置能夠蝕刻具有高工藝重復性的大面積基板(最高433 x 390mm)。PLASMATHERM 790配備了最小化氣體消耗、優化機器性能的創新配置。它具有高容量真空系統的低矮渦輪泵和易於維護的寬腔室設計。額定產生超過200毫巴真空壓力,溫度範圍高達300 °C。790有一個集成的控制單元和安全工具,允許用戶編程和監控蝕刻過程。它配備了清潔就地技術和靈活的安全協議,使其能夠監控和防止資產超載。PLASMATHERM 790是一款用途廣泛的蝕刻器和asher,可容納各種底物,從金屬和玻璃到塑料和聚合物。它設計用於處理多種敏感材料,包括薄膜、透明材料和小型化設備。此外,790還提供各種硬件和軟件升級,如運行精確電化學和工藝步驟的能力。它提供精密的蝕刻配方,以實現具有大批量處理功能的高精度蝕刻。PLASMATHERM 790是一款功能強大且可靠的蝕刻器和asher,能夠生產高質量的蝕刻零件。它具有很高的工藝重復性,具有很好的蝕刻效果,並具有最佳的工藝控制和靈活性。它是應用的完美模型,需要高精度的蝕刻和灰分處理。
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