二手 PSK DAS 2000 #9243882 待售

PSK DAS 2000是一款由PSK Corporation開發的高端蝕刻器/asher。它是一種獨立的設備，旨在為2英寸至6英寸晶圓的基板提供可靠的蝕刻/灰化。該系統具有高速基板傳輸單元和完全集成的晶片盒式磁帶，使其一次最多可處理四個晶片。PSK DAS-2000配有高精度電動機,可安全地將晶片通過各種工藝區域移動。其中包括自動基板裝載機、註射區、濕蝕刻區、幹蝕刻/灰化區和晶圓卸載機。濕蝕刻區采用水溶液和ULPA過濾熱空氣，以最大的重復性和均勻性快速蝕刻所有基板。幹蝕刻/灰化區結合了ULPA過濾與惰性氮或氙氣的使用，實現了多種底物的精確蝕刻和灰化。該機還具有集成的負載鎖和高達400°C的無與倫比的溫度控制。它與所有行業標準化學品兼容，允許用戶蝕刻和粉刷各種基材。此功能可節省時間和金錢,因為它無需購買成本高昂的各種基板特殊解決方案。DAS 2000設計具有快速的周期時間和經過驗證的端點檢測工具,可幫助優化流程效率。此外,它具有可靠的運行,並確保全天候不間斷的可用性和吞吐量。這一切都是通過堅固可靠的硬件組件和易於使用的觸摸屏用戶界面來確保的,該界面提供實時控制和無錯誤操作。總體而言,DAS-2000是一個功能強大、可靠且堅固的蝕刻器/蝕刻器,可提供最大的可重復性和均勻性。它的效率、智能特性和廣泛的兼容性使得它成為任何蝕刻或灰化應用的理想選擇。