二手 PSK DAS 2000 #9276091 待售
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ID: 9276091
晶圓大小: 8"
PR Stripper, 8"
Cassette: (2) Stages
MFC Process gas:
(2) 4% H2/N2 500 sccm
(2) O2 3SLM
(2) N2 1000 sccm
Purge gas: N2
FCIP:
Microwave: ASTEX FI20160-1
Maximum output: 3.0 kW
M/W Power head:
ASTEX FI20162-1
ASTEX FI20162-3
Aligner: RA101A-010
PUMP:
Pressure control: MKS 653B-2-50-2
Pressure gauge capacidense manometer: MKS 626A 2-Torr
Power supply:
Main power: AC, 208 V, 150 A, 3Φ, 60 Hz, 21700 VA, 60 FLA
UPS Power AC, 208 V, 20 A, 1Φ, 60 Hz, 2080 VA, 10 FLA
Transfer robot: RR701L 120-Z20-011
Robot controller: RRS701-RC420-SUCU
Main PC
MFC: AERA FC-D980C.
PSK DAS 2000是一種高效率的晶圓蝕刻器/灰度設備,專為中小型蝕刻和灰度應用而設計。該系統采用改進和可升級的設計,具有更強的過程控制、高分辨率成像等新功能,並且設計簡單易用。該裝置利用兩個緊密耦合的腔室和一個傳送帶設計，便於裝載。第一室是預蝕刻/預灰室，它提供在蝕刻或灰化之前適當制備晶片表面所需的原子氧。該腔室集成了先進的熱壁射頻輸入電源,與傳統的射頻電源相比,它使高溫和低壓操作能夠提供卓越的性能和更大的靈活性。第二室是利用先進的低壓單頻、多目標輝光放電電源的等離子體蝕刻/灰化室。集成控制器提供易於理解的圖形用戶界面,集成選項可用於屏幕上顯示壓力、功率和溫度讀數。該腔室還增強了對諸如精度、一致性和鈍化等蝕刻/灰化參數的控制。該機器還配備了先進的圖像捕捉工具，使用戶能夠記錄蝕刻圖樣並對其進行分析，以獲得更大的控制和可重復性。此外,該資產還提供了可編程報警模型和過程中止功能等卓越的安全功能。總體而言,PSK DAS-2000是一種極其高效和全面的蝕刻/粉碎機設備,旨在提供比其前代產品更高級別的過程控制和更好的結果。直觀的系統設計提供了更快的實現時間,同時其易於使用的圖形用戶界面和強大的功能使其成為實驗室和工業蝕刻和灰化的理想選擇。
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