二手 PSK DAS III #9243656 待售

PSK DAS III是一款高性能的asher/etcher，旨在提供對蝕刻和ashing工藝的完全控制。它能夠產生從標準光刻蝕刻到先進濺射和反應性離子蝕刻的各種定制工藝。DAS III使用雙熱源來實現對每個蝕刻工藝的精確調節和控制，以最小的基板損壞提供一致的結果輸出。該設備設計用於三維陣列，具有很高的真空能力，能夠在不受汙染的情況下進行蝕刻過程。該系統還具有高性能掃描掩碼,可以精確定義要蝕刻的模式,包括PSK DAS III可以識別和補償的模式中的任何不規則性。DAS III包括多區室設計，允許蝕刻室的不同工藝區域調諧到不同的溫度，允許精確成型的蝕刻和均勻的蝕刻深度。可編程聯鎖確保處理參數（如氣體壓力、溫度和流率）保持在最佳範圍內。此外，一個綜合盒式磁帶庫提供了有組織的查取工件的通道，以便在沒有汙染的情況下有效地裝卸蝕刻室內的樣品。腔室溫度控制在最高200 °C，允許高蝕刻速率，而不會損壞熱敏基板。該單元還具有集成的診斷系統，如實時數據收集和參數監控軟件，可幫助操作員優化機器運行。PSK DAS III還包括一個實驗室專用接口，允許與實驗室流程和數據收集兼容。憑借可靠、用戶友好的性能,DAS III對您的蝕刻過程提供了出色的控制。