二手 PSK DES-212-304AVLIII #9269462 待售

PSK DES-212-304AVLIII是一種最先進的蝕刻和灰化設備,旨在處理各種基材,包括金屬、聚合物和玻璃。該系統配有一個PECVD反應堆，帶有一個石英管來沈積塗層和一個升降單元來分離單個結構。PSK DES 212 304 AVL III具有重型不銹鋼工藝室，帶有垂直移動的晶圓載體，設計用於蝕刻和灰化過程中的溫度均勻性。DES-212-304AVLIII提供了一系列先進的工藝能力，並以專用的腔室控制和監測系統為後盾。該蝕刻器配備了可編程的珀爾帖溫度控制器，用於監控和維護工藝溫度。該機還配備了高精度質量流控制器，用於精確測量工藝氣體。蝕刻和灰化過程也使用高性能的觸摸面板顯示器進行監控和控制。DES 212 304 AVL III蝕刻器能夠處理尺寸不超過8 「x 8」 （203mm x 203mm）的基板。它配備了包括反應性離子蝕刻（RIE）、感應耦合等離子體蝕刻（ICP）、化學蝕刻和濕蝕刻在內的精密蝕刻和灰化技術。該工具設計用於加工最高溫度600攝氏度、最大壓力760托的基板。此外，PSK DES-212-304AVLIII具有獨特的保護塗層沈積後處理站和內置的安全互鎖資產。蝕刻器還包括廣泛的原位和異地計量和檢查能力。該模型具有可靠的數據存儲和檢索選項，便於進一步分析和優化蝕刻和灰化過程。PSK DES 212 304 AVL III蝕刻器設計為提供可靠的處理性能,效率最高,產量最大。該蝕刻器配備了用戶友好的圖形界面和易於訪問的點擊命令，以便快速、方便地操作。該蝕刻器非常適合廣泛的研發應用。