二手 PSK ECOLITE-II-T #9385545 待售

PSK ECOLITE-II-T是一款為各種應用而設計的前沿蝕刻/asher設備。該系統為用戶提供了卓越的精確度和對蝕刻和烘烤工藝的控制。它能夠在單個和多個作業中同時處理多個晶片,從而確保高效運行。ECOLITE-II-T具有先進、多頻、伺服驅動和直接驅動的絕緣驅動電機。與其他系統相比,這提供了更高的速度精度、更高的穩定性、準確性和更高的晶圓產量。晶圓驅動器/旋轉速度是可調的,允許用戶根據所需的結果定制蝕刻過程。蝕刻/灰室一側裝有射頻密封，以及一個預先成型的膜密封套件將整個單元包圍，確保了一個均勻的真空環境。這允許精確的控制水平，並抑制有害粒子進入腔室。此外，PSK ECOLITE-II-T配備了一個溫度控制模塊，以適應腔室的熱環境，以確保一致、統一的處理條件。ECOLITE-II-T具有多種安全功能,可保護用戶和環境。它配備了排氣裝置和洗滌器，能夠徹底疏散潛在危險材料。該機器的設計目的是確保在蝕刻過程中沒有液體或其他物質釋放到空氣中。PSK ECOLITE-II-T與多種基材和材料兼容，包括矽晶片、砷化氙晶片、石英玻璃、鋰矽酸鹽玻璃以及其他類型的含矽材料。它還配備了等離子體增強型化學氣相沈積工具（PECVD），允許以高速率和優異的均勻性沈積薄膜。總體而言，ECOLITE-II-T是一種可靠且高度精確的蝕刻和烘烤資產。其先進的設計和多種安全功能在不影響質量或性能的情況下給用戶留下了深刻的印象。PSK ECOLITE-II-T是尋求高效可靠蝕刻能力者的絕佳選擇。