二手 PSK Evolite 2 #9259692 待售

ID: 9259692
晶圓大小: 12"
優質的: 2011
Asher, 12" (2) Chambers 2011 vintage.
PSK Evolite 2是一種蝕刻器/asher,非常適合各種基板的高通量處理。它配備了比以前型號更大的處理面積,允許更高的吞吐量和生產率。蝕刻器/asher具有自動化過程的用戶友好性,可提供各種優化過程參數。Evolite 2有蝕刻和灰化兩個截然不同的過程。在蝕刻過程中,PSK Evolite 2所產生的微波被用來有選擇地去除基板上的材料。該蝕刻工藝可用於對某些基板進行高精度的光滑和圖樣處理。在灰化過程中,高強度的微波導致揮發性物質揮發,並迅速從基板上除去。這樣就形成了幹凈、清晰的表面光潔度。Evolite 2還有一個可調節的微波頻率,可以通過直觀的圖形用戶界面來控制。此功能允許精確且可重復的結果。它包括一個紫外線屏蔽快門和一個溫度監測設備可靠的結果,而不損壞基板。PSK Evolite 2提供從60攝氏度到350C的各種工藝溫度。這種溫度範圍允許在加工不同類型的基板時具有更高的靈活性。它還提供了一個可選的真空系統,非常適合需要低溫的精細工藝。Evolite 2還配備了獨特的專利待定電極旋轉單元。這臺機器允許快速更改進程參數,允許用戶從一個進程快速移動到另一個進程。最後,PSK Evolite 2有一個可選的氮氣供應惰性大氣處理。總體而言,Evolite 2是一款頂級蝕刻器/asher,具有直觀的控件和多種功能,非常適合高吞吐量處理和精確的結果。
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