二手 PSK Evolite 2 #9259698 待售

ID: 9259698
晶圓大小: 12"
優質的: 2011
Asher, 12" EFEM 2011 vintage.
PSK Evolite 2是一款由PASS Equipment Korn Field GmbH開發的高級蝕刻器/asher。它是一種高效節能的蝕刻和灰化系統,可用於多種應用。它使用最新的PECVD技術,或等離子體增強化學氣相沈積,來創建蝕刻或灰化過程。這項技術是蝕刻基板的最有效和最具成本效益的方法之一,因為它所需的功率比傳統的蝕刻和灰化方法要少。Evolite 2具有模塊化設計,可根據應用程序進行定制,並具有用於控制蝕刻過程的PECVD頭。它被設計用來蝕刻和粉刷各種底物,包括矽、砷化移銨和金屬氧化物。可以利用壓力、溫度和等離子體離子密度等多種參數來控制和優化蝕刻和灰化過程。這一級別的控制和優化確保了每個蝕刻/灰化過程都能獲得最佳質量的基材結果。PSK Evolite 2還有一個先進的腔室清潔單元,有助於保持工藝腔室及其環境的清潔度。這樣可確保維護所有工藝參數以獲得最佳蝕刻和灰化結果。清潔室還提高了工藝的可重復性和可靠性,這意味著使用相同配方處理的每個基板批次都會有一致的結果。此外,Evolite 2還增加了一臺冷卻機,以防止在蝕刻/灰化過程中產生的熱量造成過多的熱損壞。冷卻工具還有助於保持即使環境溫度升高的蝕刻/灰化過程,以及在發生事故時提供額外的安全級別。最後,PSK Evolite 2還包括一個熱像儀,提供實時圖像的過程室。這有助於確保在每個蝕刻/灰化過程中正確設置和監視進程參數。總體而言,Evolite 2是一種最先進的蝕刻/灰化資產,可提供高效一致的結果。它提供了極大的多功能性,因為它可以定制以滿足各種應用程序的要求,並且能夠使用熱成像相機實時監控蝕刻/灰化過程。這使得它成為蝕刻和粉刷各種基材的理想選擇。
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