二手 PSK Supra III #9276759 待售

PSK Supra III是一款高性能蝕刻器和asher設備，旨在滿足工業和學術應用的需求。它能夠進行蝕刻、灰化和基材制備過程。該系統使用專利技術進行表面修改,可將蝕刻時間減少多達80%。Supra III能夠使用矽、氮化矽、鋁、鈦等材料操作SiO2層或氧化層。該單元配備了用於用戶界面和控制的觸摸屏界面。它還提供了一個集成的軟件套件來控制蝕刻、灰化和基板制備過程。軟件可配置為處理不同的層材料和厚度。軟件還允許生成詳細的處理結果報告。PSK Supra III有一個晶片庫，單次運行最多可容納31個晶片。集成轉移工具（T-Tool）允許同時在蝕刻室之間自動轉移晶圓。T-Tool也允許自動晶圓調度，確保遵循正確的流程順序。該機還配備了全自動清洗模塊，並配有一個全封閉的ashing腔室，以確保清潔環境的ashing過程。Ashing chamber can be operated in the petched or ashed mode.此外,該工具能夠實現對蝕刻過程的精確溫度控制,從而實現優化性能。Supra III是一種強大的蝕刻工具，能夠精確控制各種基材的蝕刻參數。此資產旨在為用戶提供高性能的蝕刻和灰化功能,使他們能夠快速可靠地制造自己的電路、組件和產品。