二手 PSK Supra III #9281480 待售

PSK Supra III是一種蝕刻器/asher，設計用於自動化半導體處理應用。它是一種高速、高壓、經濟實惠的蝕刻/灰分解決方案。該設備由一個整體垂直管爐、一個多區熱區、一個旋轉行星蝕刻/灰燼室和一個自動化的過程控制接口組成。該系統可精確控制蝕刻/灰化工藝的溫度和時間。垂直管爐具有直徑33.5英寸的空腔，能夠達到1220°C的最高溫度。爐子有一個內部加熱區，以統一加熱整個工藝管。熱區由三個帶可調節的電能輸入和獨立的溫度控制組成。熱區由下區、中間區和上區組成。熱區在整個加工管中提供均勻的溫度分布。旋轉行星蝕刻/灰燼室設計為提供最佳蝕刻/灰燼剖面。腔室由一個可容納各種基板支架的旋轉盤組成，以高達13.5 rpm的速度旋轉，並能夠在高達303 mBar的壓力下運行。該室包括一個溫度控制淋浴的自動單元，可用於進一步均勻化蝕刻/灰分剖面。Supra III包括一個完全自動化的過程控制界面,用於完全控制蝕刻/灰化過程。該接口允許設置可調節的參數,如預調整溫度、蝕刻/灰燼停留時間、容器壓力、磁盤旋轉速度、淋浴溫度和其他參數。此外,界面還提供了具有各種顯示選項的過程的全面視圖。界面還提供實時監控，可用於生成在線報告。PSK Supra III是高通量自動化的理想蝕刻/灰解決方案。它在自動化環境中提供一致、可靠的性能。通過提供對工藝溫度和時間的精確控制，機器允許重復蝕刻/灰燼性能。該工具的靈活性使其適用於各種蝕刻/灰燼工藝。