二手 PSK Supra IV #293638921 待售

PSK Supra IV是半導體和MEMS行業中用於精密蝕刻和灰化的最先進的蝕刻/灰化設備。該系統由先進的直流電源和高功率射頻發電機組成，能夠在各種工作負載中對晶片進行極其精確和高效的處理。該裝置設有一個50立方英尺的加工室，在廣泛的基材尺寸和溫度範圍內提供均勻的蝕刻和灰化。堅固的設備設計用於在生產運行中提供可重復的結果,同時易於調整以滿足各個流程的需求。為確保性能一致、操作正確，該機配備了全功能硬件和軟件接口。Supra IV利用了工廠自動化的最新工具，使其與一系列晶圓加工機和機器人技術完全兼容。直流電源可提供高達1350 VDC的電壓,即使是最細膩的基板,也能實現緊密的基板完整性和精確的加工。該源的最大輸出電流為700安培，保證了較高的蝕刻和灰化速度以及較低的等離子體損傷。為了對工藝進行精確控制,源還提供了可調脈沖寬度,使用戶能夠微調蝕刻或灰化工藝,以獲得最佳質量和均勻性。所有流程都可以通過內置的數字顯示器和隨附的軟件進行監控和控制。PSK Supra IV包括兩臺射頻發生器,可實現高產率和結果的重復性。專利的電弧穩定工具允許低成本、高保真處理的高吞吐量。這些發電機旨在減少功耗，並在所有處理模式下提供最佳的電氣性能。發電機可提供高達1000瓦的最大射頻功率,從而實現高速傳輸、蝕刻和灰化。電流和功率完全可調節,允許用戶在不影響產品質量的情況下控制蝕刻或灰度。為了安全起見，該資產采用了質量最高的部件，提供了防止觸電和防止電弧閃光點火的保護。壓力控制模型還監測等離子體在腔內的狀態，必要時迅速冷卻腔內。可以安裝可選的煙霧提取套件，進一步降低環境中危險顆粒的風險。Supra IV是一種尖端蝕刻器/asher，適用於從大學研究到商業生產線等廣泛的苛刻蝕刻和灰化應用。其先進的功能集使得它非常適合復雜的作業，其用戶友好的界面使得它易於設置和操作。