二手 PSK TERA 21 #293812405 待售
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PSK TERA 21是專門設計用於制造平板顯示器(FPD)的蝕刻器/asher。這種工業機器用於在FPD基板中創建電氣通路,幫助在各層之間建立電氣連接。它是一種全自動機器,可以一次蝕刻多達十二個基板。使用提升系統確保基板在適當位置移動和固定,同時使用電動晶圓處理系統在蝕刻時精確放置和操縱基板。TERA 21可以創建寬度、間距和深度均勻的極其精確的圖案。它能一次蝕刻高達8微米厚,設計精確度高,工藝公差高達四分之一微米。這種高精度蝕刻器使用三個源的陣列-電阻,反應性和熱-以提高其蝕刻能力。電阻源產生低電流以有選擇地去除蝕刻的圖樣,而反應性源在大面積上分解抵抗材料。熱源通過利用熱量蝕刻材料,有助於加速蝕刻深度。機器采用濕蝕刻工藝,用蝕刻溶液填充FPD基板,然後對基板施加高壓啟動化學反應。然後將蝕刻溶液移除,並對留下的圖樣進行檢查和測試。PSK TERA 21還利用高分辨率觸摸屏計算機控制所有蝕刻和檢查參數。這個全面的系統旨在為每個蝕刻過程提供詳細的反饋,允許用戶快速修改參數並優化他們的蝕刻解決方案。TERA 21還設計用於減少浪費的時間和材料,方法是在每次工藝後自動清洗和回收FPD基板上的蝕刻溶液。這種高效的設計有助於確保蝕刻過程平穩高效地運行。總體而言,PSK TERA 21是一種高精度蝕刻器,它提供了在FPD基板中創建電氣通路的高效可靠的工藝。它是制造過程中對FPD基板進行蝕刻的經濟高效且用戶友好的解決方案。
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