二手 PSK TERA 21 #9244821 待售

PSK TERA 21是一款蝕刻器/asher，旨在為研發項目提供精密蝕刻和灰化工藝。該蝕刻器利用大氣壓力等離子體技術，對工藝參數進行精確控制，從而產生高質量的結果。該裝置采用兩種寬幅氣體系統；一個用於蝕刻，一個用於粉刷。它具有可選的冷板冷卻設備,可精確控制所施加氣體的溫度和壓力以及蝕刻/粉刷表面的溫度。TERA 21具有一個大的基板保持室和一個磁屏蔽的工作室，允許高分辨率的蝕刻/灰化與最小的汙染。腔室內部由不銹鋼和陶瓷塗層鋁構成，保證了維護方便和熱效率高。供氣系統采用熱傳輸管線的質量流控制器，確保對過程中使用的氣體進行準確控制。PSK TERA 21中的工藝控制單元基於先進的PLC技術,允許設置和存儲特定的蝕刻/灰化參數。位於接口附近的控制旋鈕可用於撥入任何給定進程所需的參數。同樣的控制機也被用來控制可選的冷卻工具；通過冷卻板調節蝕刻/灰化表面的溫度。該設備具有多種安全功能，如打開腔室時自動關閉和緊急停止按鈕。氣體供應資產也被放置在一個單獨的房間裏，進一步將裝置與任何潛在的危險隔離開來。設計TERA 21時考慮到方便和方便用戶。所有組件都是模塊化的,無需任何工具即可輕松更換。此外，顯示面板設有多語言菜單，讓任何國家背景的操作員都能快速熟悉控制模式。最後，該裝置能夠連接到標準的壓縮氣體供應系統。