二手 PSK TERA 21 #9259689 待售
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ID: 9259689
Asher, 12"
(2) Chambers
EFEM
Transfer Module (TM)
Process Module (PM)
AC Rack
Cables
2004 vintage.
PSK TERA 21是市場上最先進的蝕刻器/灰燼之一。它是化學蝕刻和灰化工藝的創新解決方案，可用於精細和超精細特征的開發。這種設備能夠利用很小的占地面積生產大批量產品。TERA 21配備了高熱穩定性、高速蝕刻和具有精確壓力和溫度控制的灰度等廣泛的適應性過程增強功能，為實現快速循環時間和可重復結果提供了可靠的途徑。該系統具有無應力真空烤箱室設計和多區溫度控制功能，能夠精確地蝕刻和粉刷材料。所有設置、參數、配方和工藝都可以在幾分鐘內預先保存和重復使用,以便進行可靠和高效的蝕刻。該裝置采用惰性氣體回填和高溫，以防止氧化和汙染蝕刻表面。蝕刻器/灰化器利用一種特殊的氣體清洗機來防止任何重氧化的顆粒從加熱器室中滲出。PSK TERA 21可實現超細選擇性,這對於處理當今復雜的微型IC至關重要。它支持包括高溫合金、TiN/TiWN、Au/Ti、Al/Ti等多種不同材料。在高溫下運行的能力允許處理高長寬比、深結構和/或窄結構以及復雜的3 D微結構。該工具具有嵌入式控制器、操作軟件和計時器,使蝕刻過程完全自動化。該資產設計方便操作和維護，可以連接到網絡進行監控和處理數據傳輸。TERA 21能夠產生高循環可重復結果，使其成為研究和生產的理想選擇，為精細和超精細特征的成功開發提供了最大的蝕刻能力和精度。
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