二手 PSK TERA 21 #9270662 待售

PSK TERA 21是一種蝕刻器/asher，設計用於半導體材料的精密蝕刻和灰化。它是一種計算機控制設備，提供廣泛的工藝能力，包括選擇性、高精度、低壓蝕刻和深度等離子體灰化。它專為滿足先進半導體制造的需要而設計。該系統配備了13.56MHz發射器和30MHz-400MHz接收天線。這提供了蝕刻基板上材料所需的射頻功率。天線還充當接收器，提供用於監控蝕刻反應的輸出信號。蝕刻過程通過基於PC/SC的軟件進行監控和控制，該軟件可用於調整蝕刻參數以達到所需的效果。該單元具有獨立的等離子體源，能夠實現蝕刻選擇性和工藝優化。它還配備了獨立的氣體輸送機，允許精確控制蝕刻介質。該工具還具有集成的負載鎖,允許雙向加載樣品並縮短整個循環時間。資產有一個自動化的流程監控模型，可以在流程漂移變得嚴重之前檢測到流程漂移。這有助於確保流程的一致性和可靠性。設備的集成負載鎖允許在工藝階段之間進行快速晶圓傳輸，其手動控制選項為手動操作提供了更大的靈活性。該系統能夠在低至1mTorr的壓力下執行蝕刻過程。這使設備能夠以最小的失真蝕刻即使是最精致的材料,從而確保高精度的蝕刻結果。該機還具有集成的流程驗證功能，有助於確保流程的可重復性和可靠性。總體而言，TERA 21是半導體制造的理想蝕刻器/灰化器，提供精密蝕刻、灰化和深度等離子體處理。它兼具先進的特點、易用性和可靠性，是半導體材料精密蝕刻和灰化的絕佳選擇。