二手 PSK TERA 21 #9355264 待售

PSK TERA 21是一款高效可靠的蝕刻和粉刷設備，專門為半導體行業的先進加工而設計。這種多功能的蝕刻器/灰化器為各種工藝提供了高通量和靈活性，如薄膜蝕刻和氧化物沈積。TERA 21在單個晶片上具有超高的200W吞吐量,可產生高達200 nm/min的速率。通過這種能力,緊湊的單晶片系統能夠快速處理多達200晶片/小時。此外，通用的氣體輸送設備可以方便地調整各種氣體濃度水平，使用戶能夠精確地調整其工藝配方，以滿足嚴格的要求。通用的PSK TERA 21還能夠應用廣泛的反應性物質來源，如氯、三氯化硼、氟、SF6和半導體加工中使用的其他化學品。它配備了自動射頻匹配電路技術，能夠準確、精確地傳送所需的物種濃度。該系統也是可靠和高度精確的，溫度控制耐受性高達± 1°C，每次都能實現可重復的工藝結果。這個先進的蝕刻器/asher單元還提供精湛的蝕刻產品均勻性和產量。其先進的光學和圖像識別系統提供產品質量保證以及單位晶圓的高產量。此外,功能強大的電子控制和視頻監視器為用戶提供了易於使用的界面,從而使蝕刻/asher過程更加安全和高效。綜上所述，TERA 21是一種可靠和高性能的蝕刻器/asher工具，非常適合先進的半導體加工。其通用的氣體輸送系統確保所需物種的精確輸送,超高的吞吐量使產量達到200納米/分鐘。此外，溫度控制、圖像識別系統和視頻監視器為完整的過程控制提供了一個易於使用的界面。