二手 PSK TERA 21S #9241274 待售

PSK TERA 21S是由PSK Technologies制造的最先進的蝕刻器/asher。設計用於加工高端晶圓等薄材料如二氧化矽、聚酰亞胺。它特別適合於涉及最先進的半導體制造、MEMS和微系統的應用。該設備采用PLC（可編程邏輯控制器）接口，便於集成到各種自動化系統中。TERA 21S設計用於200 mm和300 mm晶圓尺寸的生產級基材加工。它利用線性掃描和交錯的步驟在基板上均勻分布蝕刻/灰分。自動預對齊器可對所有批次的位置和方向進行可重復對齊。多錫非接觸無氣體等離子體源在晶圓上提供均勻的蝕刻/灰分沈積條件。該系統還配備了五步順序關閉單元，以確保保持可靠的電氣特性。PSK TERA 21S非常適合用於連續批處理方案。它具有可調工藝速率、無氯NF化學、等離子體電弧焊（PAW）功能等幾個特點。它還具有在線測量功能，可以實時調整工藝參數。這樣可以快速、方便地校準機器以獲得最佳結果。TERA 21S還包括一個高通量處理機器人，它是為快速準確的基板裝卸而設計的。這個機器人有一個基於模式識別的運動工具，節省時間，減少錯誤。機器人還有一個有源金屬離子過濾器，有助於確保高質量的蝕刻/灰分結果。該資產還具有高溫能力，溫度範圍為-20至+250 °C。PSK TERA 21S與ISO-9002和SANTON認證完全兼容,確保了高質量的蝕刻/灰分結果。該模型具有運行時間快、可配置的可編程邏輯、自動預對準器以及多錫非接觸無氣體等離子體源，是晶圓等薄材料高精度蝕刻/灰化的理想選擇。