二手 TEGAL 903E #293594316 待售

TEGAL 903E是一個獨特的蝕刻器/asher,它提供了一種集成的方法來處理asher和蝕刻。它具有兩種形式的晶圓蝕刻和兩種形式的灰化，以獲得更好的性能和可靠性。此蝕刻器/asher能夠處理各種基板,並且能夠處理單層和多層應用程序。該單元設計為以單一電源電壓運行,同時具有蝕刻和灰化兩種型號。它有一個底板，用於在蝕刻過程中攜帶晶片。底板上有一個與之相連的環，為蝕刻工藝提供精度和均勻性。TEGAL 903 E的加熱系統設計為保持溫度均勻，以確保精確蝕刻。蝕刻過程結束後，晶片冷卻到預定溫度，然後再送到灰燼機。903E的asher組件具有兩種不同形式的asher,根據應用程序的不同,可以從中進行選擇。第一個選項是快速asher,它非常適合需要快速完成蝕刻和ashing過程的應用程序。第二種選擇是慢速asher，它是較高精度的工作和較慢的蝕刻和ashing過程的理想選擇。這兩個ashing選項都配備了可調節的溫度設置，允許用戶獲得特定應用程序所需的確切結果。為提高903 E的蝕刻和灰化率，有兩個多濺射選項。它們被用作等效於多重蝕刻，因為它們可以在蝕刻和灰化過程開始之前在晶片上均勻地分散增加的蝕刻氣體。TEGAL 903E的陽極和陰極網旨在確保最佳蝕刻和灰化性能，電源提供可控的蝕刻工藝。最後，TEGAL 903 E配備了一個計算機界面，允許用戶自動化整個蝕刻和灰化過程。自動化過程可用於快速、準確的蝕刻和灰化晶片，無需操作員的重大幹預。計算機界面易於使用和編程，意味著用戶可以完全控制整個過程。903E是一個有效的蝕刻和灰化系統，適合各種應用。