二手 TEGAL 903E #293745370 待售

TEGAL 903E是TEGAL Corporation開發的高質量反應性離子蝕刻（RIE）設備。它能夠實現對各種材料的精密蝕刻，如矽、砷化氙、石英和其他材料。該系統具有一個13升體積的大腔室，為蝕刻更大的樣品提供了充足的空間。它配備了一個高功率微波發生器，可進行精確的微波頻率控制和廣泛的頻率選擇，以及偏置控制，使用戶能夠以所需的角度蝕刻基板。此外，該單元還包含一個400MW功率的氙等離子體噴槍，進一步允許精密蝕刻，並防止對半導體晶片的附帶損害。TEGAL 903 E蝕刻機的高精度是由它在功率500-1000W時對刀具進行控制的能力以及它的單級高真空室進一步提供的。該腔室能夠達到10-7 Torr的真空水平，從而允許更高的蝕刻速率和可重復性。此外,903E還包括一個自動化工作負載管理器,該管理器提供資產控制自動化功能,並能夠與其他系統聯網。這允許在模型的不同腔室同時執行多個程序。903 E還具有多項安全功能，以確保操作員和環境的安全。設備配有氣體穩定系統，能夠精確控制蝕刻氣體。它還包括一個緊急停止開關，如果檢測到超壓或極端溫度，該開關就起作用。TEGAL 903E蝕刻器是一種用途極為廣泛、精密的蝕刻裝置，適用於研究和工業環境中的廣泛應用。其多種特性和安全特性使其適合各種不同的蝕刻需求。