二手 TEGAL 903E #293766667 待售

TEGAL 903E是為制造半導體、MEMS和納米技術裝置而設計的先進蝕刻/灰化工具。它能夠進行多步反應性離子蝕刻（RIE）和濕法化學蝕刻（WCE）工藝。設備配備高壓電源、等離子體發電機、長壽命蝕刻室。TEGAL 903 E的強大功能使先進的蝕刻應用具有臨界長寬比、高長寬比蝕刻、高長寬比各向異性濕蝕刻和先進的摻雜技術。903E的真空室額定最大內部壓力為1.5 mBar，整體腔室容積為120升。它可以同時容納多達12個晶圓，並配有一個特殊的DC/RF雙模等離子體發生器，提供對蝕刻過程的精確控制。該系統的氣體輸送線可用於廣泛的蝕刻過程，如粉末蝕刻、反應性濺射、化學氣相沈積（CVD）和反應性離子蝕刻（RIE）。903 E專為長期使用和可靠性而設計。長壽命室采用全金屬結構，保證了優異的蝕刻效果。專門設計的輸氣線采用了噴粉器、閥門控制器、多個氣瓶插槽、安全/防爆關閉閥等先進技術。TEGAL 903E提供內置溫度控制和精確端點檢測,用於精確的過程控制。該單元與廣泛的晶圓載體兼容，包括不銹鋼托盤和陶瓷載體晶圓。該機還配備了高精度蝕刻控制軟件TEGATEM，可用於微調蝕刻工藝參數。該工具配備了安全、人性化的安全資產，包括了多種安全功能，如防保險杠、氣體安全關閉閥、遙控關閉能力以及從遠程位置控制蝕刻器的能力。TEGAL 903 E旨在滿足復雜MEMS和納米技術應用中的專業蝕刻工藝要求。它是滿足各種蝕刻需求的理想工具。