二手 TEGAL 903E #293806912 待售
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TEGAL 903E是一種非常精確的蝕刻器/asher,非常適合電鍍、掩蔽和半導體器件制造等應用。它是TEGAL系列蝕刻器的一部分,能夠處理直徑不超過8英寸的晶片。它具有創新的自動化PVR(精密真空調節)系統,通過確保整個周期的均勻真空,消除了對過程壓力的手動控制。這種改進的真空控制有助於保持精確的蝕刻參數並確保最佳結果。此外,TEGAL 903 E配備了定制設計的雙頭電加熱元件,設計用於在晶圓上均勻分配熱量。該蝕刻器還具有強大但用戶友好的控制系統。根據蝕刻工藝參數將晶圓溫度保持在精確範圍內。內置倒計時計時器可確保可靠的蝕刻過程。此外,903E還利用基於Windows的專用軟件程序來控制計算機。這允許自定義參數,並且可以更輕松地跟蹤蝕刻過程。蝕刻器還配備了一個精密的數字冷卻器,可以調節溫度。這通過確保晶片在該過程中不會過熱,提高了蝕刻過程的準確性。此外,903 E還具有內置的運行時記錄器,可以更輕松地跟蹤每個蝕刻過程的結果。TEGAL 903E的最大蝕刻速率等於或大於每分鐘20微米,非常適合精細材料的精密蝕刻。它還能夠通過高密度聚酰亞胺、聚酯和石英基板進行蝕刻。這使得它適合用於半導體器件制造、精密加工等高科技產業。蝕刻器的設計和制造符合最高質量標準。其所有部件均由耐腐蝕不銹鋼制成,旨在提供多年的可靠、高效運行。TEGAL 903 E出廠前經過嚴格的測試和檢驗,並附有一年保修。因此,它提供了一種可靠且經濟高效的蝕刻大小晶片的方法。
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