二手 TEGAL 903E #293811530 待售

TEGAL 903E是一種精密的等離子體蝕刻工具,用於處理基板上的表面.它具有ICP（內冠壓力）系統,能夠精確控制蝕刻速率。它常用於微電子制造、微機電系統（Micro-Electro Mechanical Systems）裝置制造、研發、醫療設備制造等需要先進控制蝕刻速率的領域。它有一個多功能的真空室，可以配備氣體控制器、卷軸、隔離系統和旋轉塗層等一系列配件。它的最大工作壓力為500 mTorr，可容納6英寸（152.4毫米）的基板，加工溫度可達200攝氏度。它還擁有一整套軟件，使用戶能夠精確控制等離子體蝕刻參數和監測室內條件。TEGAL 903 E配備了先進的ICP（內冠壓力）源，確保了蝕刻過程中的穩定工作環境、均勻性和可重復性。使用ICP系統，蝕刻壓力可以維持在幾毫托以內，從而在整個基板上實現更大的均勻性。此外，903E還具有可變轉速的旋轉電極，可以很容易地調整以達到所需的蝕刻速率。通過啟用變速旋轉，可以根據工藝的需要來改變蝕刻速率。轉速和蝕刻速率可以在每分鐘0.1到800 nm之間。903 E也有獨特的介電窗，以更好的調節等離子體環境。這些窗口允許等離子體角聚焦和徑向聚焦，從而產生高清精密蝕刻。TEGAL 903E還具有模塊化結構,可輕松安裝和快速維護。它配有集成晶圓功率測量單元，用於監測蝕刻過程中基板的能級，以獲得可靠的性能。TEGAL 903 E是一種用於高級基板蝕刻的通用且可靠的設備,具有多種功能以確保準確且可重復的結果。適用於常規生產、研發等，使其成為許多工業和科學應用的理想工具。