二手 TEGAL 903E #293827885 待售

TEGAL 903E （Etch/Ash）設備是一種高度先進且用途廣泛的蝕刻和灰化系統,用於半導體制造過程。TEGAL 903 E以其可靠性和可擴展性著稱，使其成為業界備受推崇的工具。903E蝕刻/灰分裝置有一個集成的化學輸送機，其中包括一系列化學來源、入口和出口歧管以及兩個氣體混合器。這確保了整個蝕刻或灰化過程中準確的化學濃度和輸送。蝕刻/灰燼工具還具有一個大型晶片平臺，能夠容納350 x 350 mm的晶片。該平臺配有晶圓方向圖和精確索引每個晶圓位置的探頭。903 E除了其集成的化學輸送資產外，還設有一個電子控制室，設計用於蝕刻和灰化應用。該腔室設計為提供可靠、可重復的蝕刻或灰化環境，可針對不同的應用進行精確調整。此外，E-卡盤設計提供了均勻真空和可重復、均勻的磁力。TEGAL 903E專為高分辨率蝕刻或灰度設計,具有出色的工藝一致性和可重復性。電子束、可調室快門和自動對焦能力都有助於確保整個過程中保持圖樣精度。TEGAL 903 E還具有強大、用戶友好的控制模型,用戶可以對蝕刻/灰分食譜進行編程,並保存已完成的食譜以供將來參考。此外,設備還允許用戶在蝕刻和灰化過程中監視過程並跟蹤配方和其他參數。903E是一種非常先進的蝕刻和灰化系統，非常適合半導體行業的應用。它的許多高級功能確保了蝕刻和灰化應用程序的最高精度和統一性。該裝置的可靠性，加上其可擴展性和出色的工藝均勻性，使其成為許多蝕刻或灰化應用的理想選擇。