二手 TEGAL 903E #293828279 待售

TEGAL 903E 蝕刻器/asher是一種用於蝕刻和粉刷晶片和基板的高效設備。它設計用於從矽到所有金屬、介電或有機的廣泛材料，非常適合半導體、醫療器件或微電子工業使用。TEGAL 903 E采用多功能一體設計,具有高效的多不易損過程室,允許用戶快速輕松地在蝕刻和灰化過程之間切換,從而減少了停機時間並提高了生產率。這種直觀的設計還配備了多氣體能力，能夠結合不同的氣體化學，以最好地滿足用戶的需求，而寬廣的溫度範圍增加了系統的潛在應用廣度。903E包括通過智能程序進行過程管理,該程序可進行調整以優化蝕刻和灰分過程。這種工具上晶圓監測技術使用戶能夠準確測量表面地形，實時測量蝕刻和灰燼的結果。此外，該機組還配備了先進的安全功能，如自動超壓和減壓閥，以防止在加工過程中出現危險情況。903 E還具有可擴展的處理體系結構,這意味著可以將多個單元連接在一起以提高機器吞吐量,從而允許用戶隨著處理需求的發展而增加容量。該工具包含一個可定制的工程師軟件包,允許用戶對其資產進行編程以提高效率和有效性。此外,該軟件還具有內置診斷功能,可快速輕松地進行故障排除。總體而言，TEGAL 903E蝕刻器是一種高效、可靠且先進的蝕刻和粉刷晶片及基板模型。TEGAL 903 E憑借其獨特的設計、高效的多非揮發性工藝室、多種氣體能力、溫度範圍、先進的安全功能和可編程的工程師軟件包,確保用戶每次運行都能獲得快速、準確的結果。