二手 TEGAL 903E #293828281 待售

TEGAL 903E 蝕刻器/asher是一種先進的集成晶圓蝕刻和灰化設備,為半導體器件制造提供高通量和高質量的蝕刻和灰化。它能夠在單個工藝步驟中將幾乎所有材料高速蝕刻到均勻的深度。TEGAL 903 E的設計考慮到了最高的效率和可靠性，以滿足集成電路（IC）制造的需求。903E采用先進的氣體輸送機制，在蝕刻和灰化過程中均達到均勻性和最優反應條件。在蝕刻階段，系統在不同壓力下提供工藝氣體的選擇，允許精確控制反應溫度和蝕刻均勻性。它采用新型氣體控制裝置，能夠精確控制氣體流動、氣體壓力和溫度，實現高性能蝕刻速率。此外，該機還采用先進的多點蝕刻頭設計，用於快速的即時晶片交換和增強的晶片層匹配。903 E灰化階段是為精確控制沈積速率、均勻性和總沈積而設計的。這一過程是由一種先進的氙氧混合物驅動的，不需要任何專門的前體，並達到最佳質量的爆破表面。該工藝可用於毯式晶片和預制晶片。它還包括一個冷卻的底部，用於最小化ashing時間和確保完全去除蝕刻殘留物。TEGAL 903E具有多種安全功能和工具操作檢測功能,使其成為最安全、最可靠的系統之一。它具有先進的操作監測系統，不僅提供對資產和流程數據的連續監測，而且還可以檢測環境和流程參數中的異常情況，在發生任何有害影響之前立即作出反應予以糾正。TEGAL 903 E的先進設計和技術使其成為半導體行業不可或缺的工具，提供無與倫比的蝕刻和灰化性能。它非常適合那些需要性能、可靠性和均勻性且環境影響較小的用戶。