二手 TEGAL 903E #293828284 待售

TEGAL 903E是半導體制造業的高性能蝕刻器/asher。它具有較大的加工室和低壓蝕刻能力，非常適合生產尺寸精確、產量高的半導體零件。TEGAL 903 E具有令人印象深刻的25個4 「x 6」蝕刻板，可以裝入腔室並快速輕松地上蓋，從而可以更快地周轉時間和更高的效率。電路板在密封的清潔室中受到保護,提供清潔和一致的環境,確保高質量的最終產品。蝕刻器的主工藝室由一個低壓環境的加熱石英真空室組成，以提高蝕刻精度。通過最大化等離子體密度，加快了蝕刻過程，導致更大的產量和更高精度的零件周期時間更短。903E還提供了許多其他值得註意的特征。它具有先進的靜電聚焦功能,可對晶片表面進行非常幹凈、均勻的蝕刻。這消除了傳統蝕刻技術使離子散射的可能性，使903 E能夠提供更高的產率而不影響標準。此外，TEGAL 903E還配備了高分辨率數字化檢測系統，能夠準確監控蝕刻過程，確保最佳安全和性能。TEGAL 903 E還配置了鎳-非晶矽（Ni-Si）作為其主要的濺射動力來源，確保了基板上的均勻蝕刻。這一特性使其成為超復雜工藝中晶片幹蝕刻的理想選擇,因為它能夠生產高性能、準確、高效的零件,在這些零件中可以承受高熱和高電流密度。最新的流程軟件支持903E蝕刻器,該軟件允許自動數字控制開放流程變體。此功能使系統在生產中更可靠、更高效、更具成本效益,從而產生可靠和高質量的最終產品。總之，903 E是半導體制造業的強大、可靠、高效的蝕刻器。其低壓、密封的清潔室確保了清潔、均勻的蝕刻，其25塊4 「x 6」板和先進的靜電聚焦產生了極少浪費的高度精確的零件。通過自動化的過程控制、Ni-Si濺射電源和最新的過程軟件,TEGAL 903E提供了最高水平的質量、性能和產量,並且具有無與倫比的成本效益。