二手 TEGAL 903E #33638 待售

TEGAL 903E是一種asher/etcher設備，設計用於在包括矽、藍寶石、氮化矽和氧化矽在內的多種材料和基板上精確高效地蝕刻、加工和沈積薄膜。蝕刻加工過程的第一階段是基板預加工。這是由預濕站完成的，該站使用四種清潔溶劑和過濾器在蝕刻前清除基板上的汙染物。然後將基板加載到熱板上進行預熱。TEGAL 903 E有一個稱為E-Beam的超線性蝕刻源來蝕刻薄膜圖樣。該源對基板產生高度各向異性的蝕刻，並保持關鍵特征尺寸和電氣特性。903E使用專有的LLA™ Source工具將薄膜沈積在基板上並用粘合劑粘合。這種沈積工藝保證了成品的均勻一致的質量。蝕刻/沈積過程是一種閉環控制系統，用於優化薄膜沈積的均勻性。可以實時設置，控制時間、速率和壓力等參數，同時提供最高精度水平。903 E配備了一系列安全功能，並設計用於保護工人免受傷害。控制單元利用安全關閉機制，防止過載和過熱。該機器配有內置火災報警機，並裝有防爆外殼。TEGAL 903E是一種高效可靠的機器，用於各種基材和薄膜的蝕刻和加工。它的閉環控制工具允許重復和精確控制蝕刻/沈積過程，而其安全特性為操作員提供最高級別的保護。