二手 TEGAL 903E #9004065 待售

TEGAL 903E是專門為生產亞微米光刻而設計的蝕刻設備。TEGAL 903 E具有6英寸晶圓容量和全套功能,是滿足高級光刻要求的理想選擇。903E具有強大的模塊化設計,具有高分辨率圖像形成系統和專用的高精度XY級。XY級以離散步驟移動晶片,允許對光掩碼、灰度掩碼和任意復雜度的陣列進行高精度蝕刻。903 E可以用多種介質蝕刻，包括矽、鉻、鎢和金，以及用於負性光抗蝕劑的光聚合物。該過程可以調整到所需結構的特定層厚度和晶體學取向。此外，該裝置可配置為包括一些基於等離子體的工藝，如等離子體增強化學氣相沈積（PECVD）。TEGAL 903E配備了強大的數據分析和操作工具。這為用戶提供了實時比較蝕刻結果的能力，並支持定制制作過程的開發。可以在機器的監視器上實時顯示各種各樣的圖像，並且可以輕松地對圖樣方向和可重復性進行精確的調整。TEGAL 903 E非常可靠,處理速度為25 ppm,維護需求最小化。它配備了安全互鎖工具和環境監控功能，以確保用戶和機器的最高安全程度。最後,903E附帶了一套用戶友好的軟件,為用戶提供了對資產功能的直觀控制。903 E具有廣泛的特點，是任何先進光刻應用的絕佳選擇。