二手 TEGAL 903E #9113440 待售

TEGAL 903E是一種二極管泵浦固態（DPSS）蝕刻設備，旨在滿足高通量、大容量高級封裝應用的需求。該蝕刻器具有創新的功能和技術,可確保可重復和可靠的性能。TEGAL 903 E旨在提供快速熱循環和快速蝕刻,而不會影響準確性或可重復性。該系統能夠蝕刻各種基材，包括FR-4、FR-5、聚酰亞胺、射頻材料、石英、塑料和金屬。也可用於3D微加工，塑料和硬質基板的金屬化。903E有一個專利波導設計，使它能夠實現高蝕刻精度和重復性，以及高透射。該機組可達到最高250KW的峰值功率，標準最大平均功率為50KW。此外，903 E具有足夠的柔韌性，可以支持多種波形格式，如階梯波、chirp波和可變功率波形。該機配備了擴大的腔室尺寸和淺輪廓，允許在緊湊的足跡中進行高通量處理。為了進一步的靈活性和性能，腔室可以配置一個開放式或封閉式甲板，以及額外的集成組件，如多值傳感器，以及快速冷卻噴射。TEGAL ETch Tool （TES）軟件也可以增強額外的可編程性。此外,TEGAL 903E的用戶友好型設計還可以方便地操作、維護和校準。該資產具有專用的圖形用戶界面,其中包括逐步菜單和實時查看和設置模式。GUI還提供有關蝕刻過程的反饋,並允許在發生故障時進行快速診斷。TEGAL 903 E通過其創新的集成技術套件來確保提高效率、可重復性和準確性。它是晶圓粘合、微波電路封裝、納米加工、三維集成和MEM制造等先進封裝應用的理想工具。