二手 TEGAL 903E #9250125 待售

TEGAL 903E是專門為生產先進MEMS元件而設計的蝕刻和灰化設備。它是一個自動化的蝕刻和灰化系統，有一個裝卸站、蝕刻室和多個晶圓盒等組件，每個都有一個溫度控制和監控單元。該單元設計用於處理各種基板尺寸，與單機和多盒式操作兼容。它既能進行濕沖洗，又能進行幹蝕刻和灰化操作，精確度低至0.5微米。該過程的自動化允許更高的吞吐量,具有高達4微米的可重復性。這臺機器的設計是為了產生可靠的結果,並以最低限度的手動操作.其先進的溫度控制和監測工具確保了蝕刻過程的最佳溫度設置。它的小尺寸抖動也確保了在蝕刻和灰化過程中的低汙染率。它還允許一個一致的蝕刻深度與均勻性跨越基板。資產還包括若幹安全功能，如溫度過低或過高時的自動報警，以及可針對不同過程調整的若幹真空設置。此外，它還具有防冰功能，便於快速和安全的處理。TEGAL 903 E應用範圍廣泛。它可以用於生產微電子元件、MEMS模塊以及電子和納米電子元件。它為各種蝕刻和灰化工藝提供協議,如CVD、蝕刻、幹蝕刻和幹灰化。由於其特點和應用，903E是一個可靠和通用的蝕刻和灰化模型。憑借其精確度、高吞吐量和自動化能力，適合廣泛的工業和研究應用。