二手 TEGAL 903E #9265524 待售

TEGAL 903E
ID: 9265524
晶圓大小: 6"
Etcher, 6".
TEGAL 903E Asher是一款功能強大的蝕刻和灰化設備,用於多種應用,如高密度電路板蝕刻、接觸處理、全模具陣列和處理等。TEGAL 903 E提供無與倫比的性能,它具有廣泛的功能和功能,可以為用戶提供最佳效果。903E的設計旨在應對尖端工藝技術中最嚴峻的挑戰。它提供了一種創新的高速蝕刻和灰化工藝,非常可靠,並提供極小的功能。903 E具有廣泛的系統操作參數,可實現極其通用的操作並滿足最嚴格的規格要求。在蝕刻方面,TEGAL 903E提供了廣泛的蝕刻技術,如幹濕等離子體、電化學、RIE(反應性離子蝕刻)等等。此外,該機器還具有內置的用戶可選功能,如蝕刻參數設置、氣體配方、過程序列控制、配方管理以及通過接觸層進行蝕刻的能力。該單元還融合了先進的功能,如離子束蝕刻、高速率蝕刻和擴展範圍蝕刻,以及用於批處理的自動裝卸機。在灰化方面,TEGAL 903 E還提供了廣泛的灰化技術和用戶選擇的灰化參數來優化工藝。該工具包括先進的灰化技術,如電子束灰化、aqua HF(氫氟)灰化、粘貼回灰化和選擇性濺射蝕刻灰化。此外,903E還提供了最高程度的過程控制,包括內置配方管理、過濾資產、氣體調節、壓力控制等。綜上所述,903 E提供了最先進的蝕刻和灰化工藝技術,以及非常先進的功能和功能。它是一種極其可靠的型號,適用於廣泛的蝕刻和灰化應用,無論大小生產需求。TEGAL 903E具有廣泛的設備參數和用戶選擇的特點,是先進蝕刻和灰化工藝的理想系統。
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