二手 TEGAL 903E #9269138 待售

TEGAL 903E是一種先進的等離子體蝕刻器/asher。它是一種高級反應性蝕刻器/asher,用於在多層和曲面上創建切口和陣列。此外,TEGAL 903 E是一種高效的蝕刻器/asher,能夠在切口之間提供超短距離,從而實現極其精確的蝕刻和圖案。當使用903E時，反應性室充滿合適的氣體混合物--通常是含有四氟化碳或氧氣的低壓反應氣體。一旦腔室被填充並且壓力被調節，蝕刻器/灰化器被打開，反應氣體被引入蝕刻腔室。在這一點上，受控濃度的離子被爆破到樣品表面，允許極其精確的蝕刻和圖樣。蝕刻時間可以改變以滿足用戶的要求，離子濃度可以針對不同的蝕刻特性而變化。樣品暴露在熒光光下引發等離子體介導的蝕刻反應。在此過程中，離子與樣品材料發生反應，迅速從樣品表面去除物質。在整個蝕刻周期中重復此過程,直到達到所需的模式。蝕刻過程由計算機軟件界面控制，以確保準確和可重復的蝕刻特性。為了保持其高性能能力，903 E在蝕刻室內設計了高溫加熱器板。這樣可以確保蝕刻器/灰化器保持最佳溫度範圍，並且氣體保持其反應性狀態。此外，TEGAL 903E還利用水平導向的控制臂，允許對反應性離子和樣品進行精確和單獨的控制。TEGAL 903 E是一款多功能、高性能的蝕刻器/asher,能夠在許多不同的表面上創建精確而復雜的圖案。它的功能為用戶提供了一種可靠、一致且經濟高效的方法來創建復雜的蝕刻。