二手 TEGAL 903E #9374755 待售

TEGAL 903E是一種專門設計用於半導體加工的蝕刻器/asher。它是一種熱蒸發器（或蒸發設備），使用電子束槍將抗蝕劑和金屬化層蒸發到半導體晶圓表面。TEGAL 903 E能夠處理直徑達8英寸的晶片，最大吞吐量高達每小時60片。它具有自動聚焦能力、過流保護和可調節的熔爐溫度，以確保最佳和一致的結果。903E被定位為一個成本效益高、可靠的解決方案，以滿足日益增長的對復雜半導體器件進行更加集成和高效處理的需求。它具有多種特點，使其對半導體工業具有吸引力，包括高精度運動系統、緊密耦合控制單元和嚴密過程控制的卓越能力。通過直接控制其它重要的工藝參數和組件（如溫度和壓力），該機器還設計為便於與現有晶圓處理系統集成。該工具設計為能夠快速準確地蒸發鋁和鈦以及其他厚度在1到1000納米之間的合金和金屬。903 E中使用的毫焦耳電子束槍可實現精確高效的沈積。此外，該資產有兩個專用的基板操縱器，用於基板的轉移和對基板位置的優越控制。TEGAL 903E還具有一系列用戶友好的功能,例如圖形用戶界面、強大的軟件包、自動校準和自我診斷模型。用戶友好的界面允許操作員輕松設置和監控蝕刻過程。此外，該設備還具有遠程監控能力，能夠實現快速和優化的操作。TEGAL 903 E非常適合需要對過程控制嚴密的半導體基板進行高性能處理的客戶。適用於批量生產和連續生產過程，能夠加工各種尺寸和厚度的基材。該系統的高精度運動單元和緊密耦合的控制機器保證了極高的精度和過程控制水平，且汙染最小。903E是半導體行業先進工藝的可靠且成本效益高的蝕刻器/蝕刻器。