二手 TEGAL 903E #9394684 待售

TEGAL 903E是專門為生產高質量半導體和光掩模器件而設計的最先進的蝕刻器/asher,在廣泛的蝕刻應用中顯示出卓越的可靠性和性能。它配備了許多高級功能,可確保每次都進行高效、可靠和精確的處理。TEGAL 903 E能夠在多種材料上進行深度和高分辨率蝕刻，包括矽片、陶瓷、金屬和玻璃。它有一個大的工作室，並配有加力燃燒器來管理灰塵和顆粒。903E獨特的線性噴嘴設計確保了高效、高質量的蝕刻,可創建寬度和深度均勻的特征。903 E具有可編程硫酸輸送的自動化和預校準蝕刻，每次提供精確的控制和統一的結果。其惰性大氣輸送設備消除了材料與蝕刻劑之間的接觸。這消除了蝕刻劑與底物表面反應造成汙染和損害的風險。TEGAL 903E從頭開始設計,以滿足蝕刻和灰化應用的最高要求,具有處理速度快到中等、各種工藝氣體可配置集成、反應性離子蝕刻能力和背面蝕刻支撐等特點。它能夠在蝕刻過程中保持材料的完整性，即使在高溫下也能提供對溫度、壓力和流量等參數的精確控制。TEGAL 903 E是一款多合一蝕刻器/asher，具有直觀的用戶界面和廣泛的監控功能，以確保蝕刻過程的質量。它具有多種感測和定位方法，可選擇多種視覺系統和圖像捕獲。機器還帶有自動過程控制功能，以確保基板和蝕刻劑的兼容性，以及在不良條件下停止蝕刻器/asher的自動過程。903E設計用於在250至650攝氏度的工作溫度下使用各種介質,例如二氧化碳、二氧化硫和一氧化二氮。該系統配有溫度控制，監控過程以保持最佳狀態。它還配備了先進的安全裝置，以實現工作場所的最佳安全。903 E非常適合用於生產和研究環境。該機器設計方便維護，具有嵌入式機器的洞察力，能夠進行近距離監控和故障排除。該蝕刻器/asher還配備了一些復雜的協議和保護措施，以確保收集到的數據的完整性並確保流程安全。TEGAL 903E是一種用於蝕刻和灰化應用程序的理想解決方案,它在多合一解決方案中提供了無與倫比的可靠性和精確度。其多種特點和先進的安全工具保證了各種基材的一致、高質量的效果。