二手 FEI Expida 1265 #9200544 待售

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ID: 9200544
晶圓大小: 12"
FIB / SEM Dual ion beam, 12".
FEI Expida 1265是一種雙束離子銑削設備,設計用於為材料產生3維地下效果,而無需花費大量時間進行掩蔽或光刻技術。該系統有一個可變角度的球形離子束,利用濺射蝕刻和離子銑削技術來影響納米級的材料,從而導致蝕刻、雕刻和雕刻詳細形狀和浮雕。該單元利用先進的數字伺服控制機制,使用戶能夠控制廣泛的光束輪廓和角度,以產生精確和復雜的特征模式。該設備的最大光束掃描速度約為8 m/s,可實現各種材料(包括塑料、金屬、陶瓷和半導體)的高通量加工過程。利用可變光斑大小和可編程電流,該機的加工能力在200 nm至2 µm之間。Expida 1265提供雙束離子銑削功能,能夠同時操作兩個獨立的束,從而實現非常精確的大面積圖案和雕刻。此外,由於其慣性設計低,該裝置可以很容易地用於動態蝕刻和鉆孔過程。該工具配備了一系列額外組件,如真空室和不同的真空泵,以實現完整的系統集成。資產還可以與現有系統集成,從而實現更大程度的控制和適應性。該模型提供了各種各樣的命令和反饋設置,允許精確控制諸如濺射蝕刻持續時間、光束角度和電流水平等參數。全面的命令和設置範圍使用戶能夠精細調整其過程參數,以生成精確、復雜的特征模式。直觀的用戶界面也簡化了編程,為參數輸入和機器控制優化了易於使用的圖形界面。總體而言,FEI Expida 1265是一種先進的離子銑削設備,設計用於在材料基板上產生精確的特征圖樣。其雙光束性能、可變光束角度和反饋設置範圍使其成為各種納米技術應用的理想選擇。其高分辨率、精確度、低慣性設計和集成系統確保該系統能夠提供精確、高質量加工過程所需的所有組件。
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